Journalartikel - Wissenschaftlicher Artikel | 1996 | Peer reviewed

Step edge cut off - A new fabrication process for metal-based single electron devices : (A new Fabrication Process for Metal-Based Single Electron Devices)

Autor*innen

Altmeyer, Stefan ; Spangenberg, Bernd ; Kühnel, Fabian ; Kurz, Heinrich

Zeitschrift

Microelectronic engineering

DOI

10.1016/0167-9317(95)00272-3

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Sprache

englisch

Darstellungsform

Text

Band

Ausgabe

1-4

Seitenbereich

399 - 402

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Altmeyer, S., Spangenberg, B., Kühnel, F., & Kurz, H. (1996). Step edge cut off - A new fabrication process for metal-based single electron devices. Microelectronic Engineering, 30(1–4), 399–402. doi:10.1016/0167-9317(95)00272-3

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Altmeyer, S., Spangenberg, B., Kühnel, F. and Kurz, H., 1996. Step edge cut off - A new fabrication process for metal-based single electron devices. Microelectronic engineering, 30(1–4), pp.399–402.

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Altmeyer, Stefan u. a. 1996. Step edge cut off - A new fabrication process for metal-based single electron devices. Microelectronic engineering 30, 1–4, 399–402.

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American Psychological Association 6th edition (DOI)

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