Journalartikel - Wissenschaftlicher Artikel | 1998 | Peer reviewed

Fabrication of Silicon and Metal Nanowires and Dots Using Mechanical Atomic Force Lithography

Autor*innen

Hu, S. ; Hamidi, Abdul Aziz ; Altmeyer, Stefan ; Köster, Thomas ; Spangenberg, Bernd ; Kurz, Heinrich

Zeitschrift

Journal of vacuum science and technology

DOI

10.1116/1.590277

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Sprache

englisch

Darstellungsform

Text

Band

Ausgabe

Seitenbereich

2822 - 2824

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Hu, S., Hamidi, A. A., Altmeyer, S., Köster, T., Spangenberg, B., & Kurz, H. (1998). Fabrication of Silicon and Metal Nanowires and Dots Using Mechanical Atomic Force Lithography. Journal of Vacuum Science and Technology, 16(5), 2822–2824. doi:10.1116/1.590277

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Hu, S., Hamidi, A.A., Altmeyer, S., Köster, T., Spangenberg, B. and Kurz, H., 1998. Fabrication of Silicon and Metal Nanowires and Dots Using Mechanical Atomic Force Lithography. Journal of vacuum science and technology, 16(5), pp.2822–2824.

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Hu, S. u. a. 1998. Fabrication of Silicon and Metal Nanowires and Dots Using Mechanical Atomic Force Lithography. Journal of vacuum science and technology 16, 5, 2822–2824.

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