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A High-Precision and High-Bandwidth MEMS-Based Capacitive Accelerometer
Autor*innen
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Zeitschrift
Weitere Details
Sprache
englisch
Darstellungsform
Text
Band
18
Ausgabe
16
Seitenbereich
6533
-
6539
Schlüsselwörter
1f noise
,
Accelerometers
,
Capacitive sensing
,
Capacitive sensors
,
Gain
,
MEMS
,
Micromechanical devices
,
Sensor systems
,
accelerometer
,
low-noise